有機積層膜の深さ方向分析 （ESCA（XPS）－GCIB）

概要

Ｘ線光電子分光分析装置(ESCAまたはXPS)は、表面数nmの元素及び化学状態を分析することが可能な装置です。本装置は、Arガスクラスターイオン銃(GCIB)を搭載しており、従来のArイオンビームで損傷を受けやすい有機物に対して、低損傷でスパッタを行うことが出来ます。GCIBを用いた有機積層膜の深さ方向分析について紹介します。

分析例

数十nmの薄膜を積層した有機積層膜(図2)について、GCIBを用いて深さ方向分析を行いました。図3のデプスプロファイルより、4層構造であることが確認できます。表1に示すように、各層の元素濃度の実測値は理論値と合致する結果が得られました。