概要
大気下で変質・構造変化し易い材料（例えば電池材料、有機EL材料、触媒関連材料）を試料前処理から分析まで一貫して、大気非暴露環境下で分析するための設備を備えています。
前処理設備としてグローブボックス内での切断やFIB、断面イオンミリング（CP）による断面作成が可能です。
また、分析装置はTEM/EDS、FE-SEM/EDS、ESCA(XPS)が対応しています。
適用分野
フラットパネルディスプレイ、電池・半導体材料、組成分析、形態観察・測定、表面、結晶構造解析
キーワード
易酸化材、その他有機製品、その他無機製品、断面、大気非暴露、大気遮断グローブボックス、TEM、SEM、EDS、ESCA、XPS、FIB、 CP、断面イオンミリング、クライオCP
