形態観察（SEM,TEM）の基礎 ～無機材料観察編～

SEM（Scanning Electron Microscope、走査電子顕微鏡）、TEM（Transmission Electron Microscope、透過電子顕微鏡）は高倍率で観察、元素分析ができる手法です。断面を作製し試料内部の元素分布を見ることもできます。
電子デバイスやセラミックス材料などの無機材料は機能発現のために様々な元素が使われており、その分布を捉えることが非常に重要です。本セミナーではSEM、TEMの観察事例に加えて元素分析の事例と分析のポイントを紹介いたします。