薄膜中の微量金属分析

概要

薄膜中の主成分元素から微量金属元素までの分析が可能です。特にICP質量分析法(ICP-MS)は測定溶液でppt（=10^-12 g/g）の感度があり、薄膜中濃度としてppm（=10^-6 g/g）の微量金属元素を測定することができます。

分析方法

基板上（ガラス、シリコンウェハーなど）に成膜された薄膜試料を酸で分解します。主成分元素はICP発光分析法（ICP-AES）で測定し、微量金属元素をファーネス原子吸光法（GF-AAS）やICP質量分析法（ICP-MS）で測定します。

• 薄膜全体の平均組成、微量成分の分析が可能です。
• 測定元素・含有量により、最適な測定法を選択します。
  （ICP発光分析法(ICP-AES)、ファーネス原子吸光法(GF-AAS)、ＩＣＰ質量分析法(ICP-MS)）
• ※薄膜量（面積、厚さ）、基板材質（溶出成分）により分析できない場合があります。
  また、酸素は測定できません。

・対象試料例

　金属薄膜　　：　Cu、Al
　酸化物薄膜　：　In₂O₃、ZnO、SnO₂
　その他　　　：　透明導電膜（ITO、AZO）等