概要
クライオ断面イオンミリングは、試料を冷却しイオンビームで断面試料を作製する装置です。
熱に弱い試料をイオンミリング加工すると、熱の影響で変形、破損を生じます。そこで極低温での冷却加工が可能な本装置を用いる事で、熱損傷の無い高品質な断面作製が可能です。
分析事例
樹脂フィルム上に成膜した無機薄膜の断面を、ウルトラミクロトーム・断面イオンミリング・クライオ断面イオンミリングでそれぞれ作製し、断面の様子を比較しました。（図1）
ウルトラミクロトームでは、樹脂フィルムと無機薄膜の硬さが異なる為、無機薄膜が崩れた様子が観察され、冷却無しの断面イオンミリングでは、樹脂フィルムが熱で溶けている様子が観察されています。 これに対してクライオ断面イオンミリングでは、損傷の無い高品質な断面が得られました。（図2）
適用分野
電池・半導体材料、フラットパネルディスプレイ、プラスチック・ゴム、その他有機製品、その他無機製品
キーワード
樹脂フィルム、無機薄膜、有機・無機複合材料
