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定評ある分析技術

GCIB-ESCA

概要

 X線光電子分光装置(ESCA)は、固体最表面の定性、定量分析、化学状態分析およびマッピング分析を行うことができる装置です。
 弊社では、Arガスクラスターイオン銃(GCIB)を装備したGCIB-ESCAを導入し、様々な材料の深さ方向分析が可能となりました。

原理

 固体表面にArモノマーイオンを照射すると、表面がスパッタされることで無機物の深さ方向分析が可能です。ただし、有機物に対しては損傷を引き起こす問題がありました。
 Arガスクラスターイオンでは、有機物の化学状態や分子構造を維持したまま、表面を少しずつスパッタすることができるため、有機物の深さ方向分析が可能です。

  • Arガスクラスターイオン

    Arガスクラスターイオン

  • Arモノマーイオン

    Arモノマーイオン

技術資料・装置紹介
  • ESCA(XPS)概観

    ESCA(XPS)概観

  • ガスクラスターイオン銃(GCIB)概観

    ガスクラスターイオン銃(GCIB)概観