蛍光X線分析装置（XRF）

概要

試料にX線を照射すると、試料から成分元素に応じたエネルギーの蛍光X線が発生する。この蛍光X線を検出器で測定し試料の定性・定量分析を行う。

装置構成

得られる情報

・含有元素の定性、定量
・測定可能元素： C～U

性能（検出限界）

・理論計算による定量分析（FP法）
・X線出力　　　　 ：　最大120W（30kV　4mA）
・エネルギー分解能：　149eV以下

*定量下限（エネルギー分散型の場合）

アプリケーション

・定性分析