トリプル四重極型ICP-MS

概要

誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP-MS)は、溶液中ppt(10^-12g/g)以下の金属元素の定性・定量分析が可能な装置です。トリプル四重極型ICP-MSはマトリックス由来の干渉除去に優れており、従来装置では困難であった各種材料中の微量分析が可能です。

装置

性能（検出限界）

干渉除去例

トリプル四重極は反応セルを二つの四重極(Q1、Q2)で挟んだ構造であるため、シングル四重極で除去できなかった多原子イオン(干渉イオン)を選択的に除去できるようになりました。
トリプル四重極型ICP-MSによるPの分析事例を【図3】、【図4】に示します。シングル四重極では多原子イオン(¹⁴N¹⁷O⁺、¹⁴N¹⁶O¹H⁺)の干渉で測定が困難でしたが、トリプル四重極では反応セルに酸素ガスを用いて³¹P⁺(m/z=31)を³¹P¹⁶O⁺(m/z=47)にマスシフトし、また³¹P¹⁶O⁺(m/z=47)に干渉する⁴⁷Ti⁺(m/z=47)をQ1(m/z=31)で除去することでPの正確かつ高精度な測定が可能となりました。