金属材料中の炭素・硫黄の微量分析

概要

近年、エレクトロニクス分野においては性能向上を目的に、原料中の炭素、硫黄等の不純物元素削減が求められています。これに伴って、ｐｐｍオーダーでの炭素、硫黄分析に対する需要も高まっています。本技術資料では、酸素燃焼-赤外線吸収法による炭素・硫黄分析装置を用いて、金属及び無機材料中の炭素、硫黄濃度を定量した例をご紹介します（表１参照）。

装置

酸素燃焼-赤外線吸収法による炭素・硫黄分析装置CS844（LECO社製、図1参照）

分析原理

試料を酸素気流中で加熱燃焼させ、炭素をCO₂、硫黄をSO₂として回収し、赤外線検出器を用いて各発生ガス量を計測します。これを基に試料中の炭素、硫黄濃度を求めます。（詳しい原理については、既報の装置紹介レポートNo.A1802もご参照ください。）

分析結果

まとめ

炭素・硫黄分析装置を用いて、数ｐｐｍから数十％（試料により異なる）の炭素、硫黄分析が可能です。また、ご希望の温度条件（１２００～３０００℃）での測定にも対応致します。
ハロゲンを含有する物質や多量の副生ガス（水分等）を伴う物質、金属酸化物の中には、測定困難なものもあるため、詳しくは一度お問い合わせください。