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技術資料
No.T0803 | 2013.10.01

nmオーダーの形態観察と組成分析(FE-TEM)

概要

 200kV  の高電圧で加速した電子線を試料内に透過させることにより、試料の原子で回折や散乱された電子を透過電子像(TEM 像)や電子線回折パターンとして得て、内部組織や結晶構造を調べることができます。
 また、電界放射型の特徴である細く絞られた電子線でナノメーターオーダーの分解能を持つ走査透過電 子像(STEM 像)を得ることができます。この細い電子線を利用してエネルギー分散型X 線検出器(EDS)によるナノオーダー領域での組成分析もできます。
 さらに、高角度に散乱された散乱電子を用いて試料の組成像(Z コントラスト像)を観察出来ます。

<得られる情報>

  • 物質の形態や内部組織の観察
  • 結晶物質の構造(電子線回折、高分解能像)
  • ナノオーダーでの組成分析、元素の分布解析(B~U)
  • Z コントラストによるナノオーダーの組成像

分析方法

適用分野
セラミックス・ゼオライト、その他無機製品、フラットパネルディスプレイ、電池・半導体材料

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