集束イオンビーム

概要

集束イオンビーム装置(FIB：Focused Ion Beam)は、細く絞ったイオンビームを用いて試料の微細加工・観察を行うことができる装置です。
この装置は

• 透過電子顕微鏡(TEM)観察試料作製
• 走査電子顕微鏡(SEM)断面観察試料作製
• 二次イオン像観察(SIM)

などを行うことができ、セラミックス材料、薄膜材料、電子デバイスなどの解析に応用されています。

装置

○ 機種：SMI-3050 日立ハイテクサイエンス製(旧エスアイアイ・ナノテクノロジー)