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装置紹介
No.A1402 | 2014.12.18

集束イオンビーム

(FIB:Focused Ion Beam)

概要

集束イオンビーム装置(FIB:Focused Ion Beam)は、細く絞ったイオンビームを用いて試料の微細加工・観察を行うことができる装置です。
この装置は

  • 透過電子顕微鏡(TEM)観察試料作製
  • 走査電子顕微鏡(SEM)断面観察試料作製
  • 二次イオン像観察(SIM)

などを行うことができ、セラミックス材料、薄膜材料、電子デバイスなどの解析に応用されています。

装置

○ 機種:SMI-3050 日立ハイテクサイエンス製(旧エスアイアイ・ナノテクノロジー)

表1 仕様

照射イオン

Ga+

加速電圧

1~30kV

最大電流

20nA

オプション

マイクロプローブシステム

 

 

適用分野
無機材料、構造解析、形態観察
キーワード
セラミックス、薄膜、電子デバイス、金属

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