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電子顕微鏡画像集
原理
(FE-SEM)
当社のSEM及びTEMで得られた画像例を以下にご紹介します。
染色TEMによる高分子材料のモルフォロジー解析
(FE-TEM)
PP結晶ラメラの配向状態
PP結晶ラメラの配向状態
HDPEとL-LDPEの結晶ラメラ形態
相分離構造をAFMとTEMの観察結果で比較
PPSとアルミ板の接合界面状態
PP+PE+スチレン系ゴムの相分離構造とラメラ形態
ABS樹脂の相分離構造
FE-SEMによる加熱時のその場観察(in-situ)
アルミニウムとポリエチレンの加熱に伴う形態変化
多層膜フィルムの加熱に伴う形態変化 (動画有)
赤さび(FeOOH)の加熱による形態変化 (動画有)
バイオミネラルの加熱による形態変化 (動画有)
はんだ（共晶組織）の加熱による相変化 (動画有)
Ag系鉛フリーはんだの加熱によるAg凝集挙動 (動画有)
Sn-Bi系はんだの金属組織の冷却速度依存性の観察 (動画有)
TEM解析技術
概要
TEM(透過型電子顕微鏡、透過電子顕微鏡)は高倍率で試料の観察、元素分析、結晶構造解析ができる非常に多機能な装置です。当社ではFE-TEM(電界放出型-透過電子顕微鏡)を用いて、ポリマー材料、有機材料及びセラミックス、半導体などの無機材料について様々な解析を行っています。
原理・特徴
TEMとSTEMの原理および特徴を示します。どちらも高倍率での観察が可能ですが、TEMは結晶構造の解析が、STEMは微小領域の組成分析が得意です。
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TEM(透過電子顕微鏡)法
[原理]
試料に平行な電子線を照射し、試料を透過した電子を用いて構造情報を得る手法。試料内での電子の散乱や回折により、像にコントラストが現れる。
[特徴]
・高倍率での形態観察
・回折現象を利用した結晶構造解析(電子線回折図形、暗視野像)
・格子像(結晶構造を反映した像)による構造解析 - STEM(走査透過電子顕微鏡)法
[原理]
細く絞った電子線を試料上で走査し透過像を得る手法。ナノメートルまで電子線が絞られているため、微小領域の分析が可能。
[特徴]
・高倍率での形態観察
・高倍率での組成像（STEM暗視野像,HAADF像)の取得
・微細領域の元素分析(STEM/EDS元素マッピング)
対応測定項目
- TEMの測定項目と解析例
| 測定項目 | 解析内容と応用例 | |
|---|---|---|
| TEM | TEM明視野像 高分解能像 |
形態観察、格子像観察(結晶構造を反映した像)倍率：数万倍～数百万倍・膜厚計測、残留気孔解析 ・結晶性材料(セラミックス、金属等)の結晶粒径解析 ・ポリマーの相分離構造観察 |
| TEM暗視野像 | 欠陥解析、結晶方位解析倍率：数万倍～数十万倍・膜の配向性の確認 | |
| 制限視野電子線回折 | 結晶構造解析測定エリア：数十nm～数百nm・結晶相の同定、結晶方位解析 | |
| STEM | STEM明視野像 | 形態観察倍率：数万倍～数千万倍・粒径解析、気孔解析等 |
| STEM暗視野像 (HAADF像) |
形状観察(組成像：組成差を像として取得)倍率：数万倍～数千万倍・セラミックス粒子と有機バインダーの混合状態の解析 | |
| STEM/EDS | 組成分析(定性分析、半定量分析）、元素マッピング倍率：数万倍～数百万倍・セラミックス、金属の添加元素偏析の解析 ・ポリマーの添加剤（フィラー）の解析 |
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関連技術資料
原理・装置紹介
ポリマー・有機材料
無機材料