走査型プローブ顕微鏡（SPM）

概要

SPM（走査型プローブ顕微鏡）は、探針で試料を走査し、探針－試料間に働く吸着力や粘弾性などの様々な物理量を検出して、表面形状や物性を画像化する装置です。特に垂直方向の分解能に優れており、SEM（走査電子顕微鏡）では得られない微細な凹凸情報を得ることができます。

装置構成

環境制御型のSPMなので、大気中だけでなく、真空中や窒素ガス中での測定も可能です。
また、-120～300℃での温度制御が可能です。

分析事例の紹介

＜毛髪キューティクルの表面形状測定＞

SPM測定によって、毛髪キューティクルの微細な構造を画像化しました。形状像の他にも摩擦力や硬さ等、試料表面の様々な情報を得ることができます。